SECL

SEMI Equipment Communications Library

SEMI에서 정의한 통신 프로토콜 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 표준에 따라 반도체/FPD 제조 설비와 호스트 간의 통신을 수행하는 소프트웨어 라이브러리

SmartEQ

Module Inline CIM
Standalone CIM

설비의 상태 정보 및 데이터를 받아서 취합 및 관리하며 상위 시스템과 통신을 통해 생산 및 라인 상태를 관리하는 솔루션